AURION Anlagentechnik GmbH - Tecnología del plasma = Sistemas de plasma + componentes de alta frecuenciaAURION Anlagentechnik GmbH fue fundada hacia finales de 1996 por tres socios. La idea que precedió a la fundación de la empresa fue la producción de componentes y sistemas completos para el tratamiento de superficies que fueran eficientes, redujeran los costes y resultaran respetuosos con el medio ambiente. AURION desarrolla y fabrica componentes para el suministro de energía de los sistemas de plasma. Entre ellos, se incluyen redes de adaptación de impedancias con unidades de autoajuste, así como filtros, interruptores, osciladores de cambio de fase, divisores de potencia, cables y conectores. Nuestra especialidad son los procesos de plasma de alta frecuencia a 13, 56 y 27, 12 MHz. Gracias a nuestros conocimientos en la fabricación de componentes, AURION también ofrece sistemas completos para el tratamiento de superficies asistido por plasma, es decir, tanto para la limpieza y modificación de superficies como para procesos de revestimiento y grabado (PVD, PECVD, RIE, microondas).
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